中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9238389 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、東京エレクトロン株式会社TELが設計・取得したフォトレジスト機器です。半導体デバイスの製造に使用される光学系の自動フォトリソグラフィーシステムです。このユニットは、現代の半導体の製造に使用されるリソグラフィーマスクの正確かつ高解像度の製造を可能にするように設計されています。TEL ACT 8は、照明源、レンズマシン、レチクルアライメントツール、露出したフォトレジストアセットなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。モデルで使用される照明源は、さまざまな波長で動作するレーザーで、通常は350〜400 nmの範囲で動作します。レーザー光は、高精度のレンズ装置を介して指示され、最大200 mW/cm2の光学パワーを提供することができます。レチクルアライメントシステムは、フォトリソグラフィープロセスで使用されるレチクルパターンをウェーハと正確に整列させるために使用されます。露出されたフォトレジストユニットには、ウェーハ表面にフォトレジストを適用するために使用されるダイナミックスキャナが含まれています。これは、ウェーハ表面に届く安定した光で行われます。ウェーハに供給される総電力量は、所望の分解能に基づいて正確に調整できます。フォトレジストはレーザー光にさらされ、光にさらされた部分でフォトレジストが硬化または軟化する化学反応が誘導される。このエッチングパターンは、その後のプロセスでウェーハをパターン化するために使用されます。TOKYO ELECTRON ACT 8は、アラスカンシリーズと呼ばれる精密アライメントマシンで使用するように設計されています。この組み合わせは、最大0。03ミクロンの精度を提供し、0。07ミクロンのような小さな特徴を生成することができます。このツールには、実際の製造プロセスの前にウェーハ設計をテストするために使用できる社内のシミュレータプログラムもあります。結論として、TEL ACT 8は、現代の半導体生産のためのデバイスの製造のための自動、高精度フォトリソグラフィ資産です。レーザーモデルを使用して、解像度と電力の両方の設定を提供します。さらに、アラスカンシリーズのアライメント装置と社内シミュレータプログラムにより、ユーザーは非常に精度と精度の高い複雑なデザインを作成する柔軟性を提供します。