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TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9236700
System.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、半導体デバイスの製造に使用されるフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、紫外線またはX線を使用して半導体基板に画像を生成します。TEL ACT 8システムは、DUVレジスト材料を用いたリソグラフィ用に設計された高エネルギー紫外線光源を採用しています。これは、内蔵のWebブラウザだけでなく、9 インチカラーLCDタッチスクリーンと64ビットアーキテクチャを備えています。単位は25および105mmの焦点距離ができ、200mmの作動距離があります。東京電子ACT 8マシンは、集積回路(IC)やその他の電子部品の高解像度イメージングを提供するように設計されています。コントラストレベルが高く、直線性に優れた高精度な画像を生成します。このツールはまた、角度で優れた直線性を提供することができ、イメージング資産の正確な光学アライメントを可能にします。このモデルはまた、20ナノメートルのマークまでの解像度を生成することができます。ACT 8機器は、さまざまな処理要件を満たすためにさまざまなイメージングモードが付属しています。これらのモードには、マスク露出、ダイレクトプリント、スキャンおよびプリント、ライン露出が含まれます。マスク露光モードは、高密度画像を生成し、高精度の画像素子を生成するのに適しています。ダイレクトプリントモードは、リソグラフィーマスクを必要とせずにICの正確な画像を生成するために使用されます。スキャンアンドプリントモードでは、1つの連続パスでICのスキャンと印刷が可能です。ライン露出モードは、線、寸法、テキストなどのさまざまなベクトル要素を生成するために使用されます。ACT 8システムは、電子およびリソグラフィ製造のための効率的で信頼性が高く、費用対効果の高い代替手段です。高精度のイメージング、優れた直線性と安定性、高いスループットを提供します。コンパクトな設計とポータビリティにより、複数のアプリケーションやプロセスでの使用が可能で、プロトタイプや少量から大量生産の実行に最適です。
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