中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9235975 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8フォトレジスト装置は半導体加工において重要なツールです。半導体ウェーハの表面にパターンをエッチングし、電子回路や部品を構成する電子経路、構造、デバイスを形成するために使用されます。TEL ACT 8フォトレジストシステムは、ウェーハ表面に光感受性材料であるフォトレジストを使用しています。光にさらされると、フォトレジストは化学組成を変化させ、ウェーハ表面に投影されたパターンの負のイメージになります。TOKYO ELECTRON ACT 8ユニットは、ユーザーが適用されたフォトレジストのパターン定義、形状、サイズを制御することができます。光の露光時間と強度は、フォトレジストの特定の化学組成に合わせて設定することができ、開発者は線幅、解像度、さらには深さなどの機能を正確に制御することができます。ACT 8マシンには、フォトレジストの不適切な露出から保護するいくつかの安全機能もあります。正確な結果を確保しながら誤った露出を回避するために、露出時間を制御するアルゴリズムが使用されます。メンテナンス中やレジスト材の交換中に光を遮断する安全シャッターも装備し、作業者がウェーハを傷つけないようにしています。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8フォトレジストアセットに搭載されている機能を組み合わせることで、フォトリソグラフィ開発に最適なツールとなります。機能を制御する機能と安全対策は、結果が信頼性と一貫していることを確認するのに役立ちます。さらに、第8世代モデルでは、柔軟性と高レベルのオートメーションが追加され、フォトリソグラフィープロセスの高速化と効率化が可能になります。
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