中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9235266 を販売中
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ID: 9235266
ウェーハサイズ: 8"
System, 8"
Wafer flow: Left to right
Wafer type: Notch / Flat
Cassette block (CSB): Open type
Process block (PRB): 1 Block
Interface block (IFB)
CANON FPA-3000 i5 Exposure system
Chemical box:
Solvent: (2) Buffer tanks and degas module
HMDS: Buffer tank and canister tank
Solution: (2) Buffer tanks and (2) Degas modules
Drain: COT Drain poly tank
With fire extinguisher system
Temperature and humidity 1: COSAM SPA-Series
No temperature and humidity 2
Temperature control unit (TCU) 1: INR Series
AC Power box
No back-up module in AC power box
(7) Parts boxes
Missing part in AC box
Cassette block (CSB):
No ULPA fan unit
Display panel
Alarm tower
Loader
No carrier reader sensor
CRA:
X, Y, TH, Z Motor set
X, Y, TH, Z Drive set
Tweezer
Mapping sensor
Wafer check sensor
No AGV system
MSE 343B DC Power box
CSB Chemical area:
Resist pump: (8) T-F200 Series RRC Pumps
Resist bottle: Gallon bottle and quart bottle
Resist filter:
(4) Impact type
(4) Housing type
(8) LE Tanks: 200cc
Process block (PRB) 2:
FAN Unit
TH Drive
PRA:
X1, 2, 3, Z Motor and drive
Pincette and wafer block
Wafer sensor
Coater (COT):
(4) Dispense nozzles
Nozzle arm 1 and 2
Chuck
Back rinse nozzle
No BARC coater (COT)
TARC Coater (TCT):
(2) Dispense nozzles
Nozzle arm 1 and 2
Chuck
Back rinse nozzle
CUP Set
Developer (DEV):
Dispense nozzle: H Nozzle
Nozzle arm 1 and 2
Chuck
Back rinse nozzle
CUP Set
Process block (PRB) 2: Oven
ADH
LHP
No HHP
No HCH
CPL
No PHP
No PCH
CHP
No TCP
TRS
CWH
IFB (Interface block):
FAN Unit
EIS Type: CANON
IRA:
X, TH, Y, Z Motor and drive
Tweezer and wafer block
Wafer sensor
WEE:
X Motor and drive
Chuck
Exposure type: DUV-Line
Exposure sensor: 254 UV.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、電子プリント回路の製造に使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、再現性と堅牢な製造プロセスで、小型から大型までのデバイスの生産を可能にすることができます。TEL ACT 8は、フォトレジストプロセッサ、マスクアライナー、欠陥検査ユニットで構成されています。フォトレジストプロセッサは、エッチング処理の選択性と速度を支援する回路基板の表面に光を適用することができます。マスクアライナーは、フォトレジスト材料がエッチングの正しい位置に適用されるように、ユーザーが正確にマスクを回路基板に整列させることができます。最後に、欠陥検査機は欠陥や傷のフォトレジスト材料を監視し、最終結果が最高品質であることを保証します。TOKYO ELECTRON ACT 8は、優れた精度と精度を提供するように設計されています。このツールは、0。5ミクロンまでのサイズの特徴を解決できるため、高い精度をサポートします。この精度により、非常に小型で複雑な回路を正確に製造することができます。このアセットにより、高速なスイッチング時間と高い反復性を備えた堅牢なプロセスで、1ステップで大きなパネルを作成する柔軟性も可能になります。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、プロトタイプおよび生産プリント回路の製造において、高い信頼性と一貫したソリューションです。このモデルは、さまざまなフォトレジスト材料と互換性があり、ユーザーは最良の結果を得るためにプロセスをカスタマイズすることができます。また、各種基板や基板の取り扱いも可能で、幅広い用途でご利用いただけます。ACT 8は全体的に信頼性の高い包括的なフォトレジスト装置であり、高品質のプリント回路の生産を可能にするように設計されています。このシステムは高精度で再現性があり、複雑な回路設計に優れた精度と精度を提供し、幅広い用途に対応するさまざまな材料や基板と互換性があります。
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