中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9235231 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8
ID: 9235231
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2010
System, 8" 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、高度なマイクロエレクトロニクスプロセス用途向けにフォトリソグラフィおよびフォトハードニングサービスを提供するために設計された先進的なフォトレジスト機器です。高精度な光学イメージングアライメント技術、高度な画像処理技術、精密なオートメーション制御技術を組み合わせ、極めて精度の高いフォトリソグラフィープロセスを最適化します。光電子イメージングユニットは、フォトレジストフィルム上の基板の露出を整列および監視するために使用されます。マシンは、アライメントを検証し、露出する領域を決定するために基板を検査します。光学イメージングプロセスでは、レーザー干渉センサーまたはイメージングセンサーを使用して、基板とフォトレジストフィルムの正確なアライメントを行います。オンボードイメージングツールは、フォトリソグラフィック露出を調整することができ、プロセスのバリエーションや基板タイプに関係なく、最高の画質を保証します。このアセットは、光硬化薬品への露出を最小限に抑え、高解像度の画像を生成するように設計されています。これを実現するために、高効率で低ノイズのCCD (Charge-Coupled Device)イメージング技術を搭載し、コントラスト比の高い多数の画像を素早く取得できます。CCDイメージング技術は、ノイズを低減し、効率的な露出制御を可能にします。フォトレジスト装置には、幅広いオートメーションおよびプロセス制御機能が組み込まれています。それはフォトレジストのレシピの簡単なカスタマイズを可能にし、フォトレジストの露出の管理に高い柔軟性を提供するレシピの大規模なデータベースを持っています。自動化されたシステムには、フォトレジスト材料のエラーを検出し、フォトリソグラフィーのエラーによって引き起こされる問題を解決できる自己診断機能も組み込まれています。フォトレジストユニットの絶対精度を確保するため、フォトレジストフィルムの仕様と品質レベルを測定できる自動基板検査ツールを搭載しています。このアセットは、フォトレジストフィルムの不規則性を自動的に検出し、すべてのプロセスにわたって一貫した品質を確保するための是正措置を提供することもできます。要するに、TEL ACT 8モデルは、高精度の光学アライメント、高度なCCDイメージング、高度なプロセス制御機能を備えた先進的なフォトレジスト機器であり、マイクロエレクトロニクスプロセスアプリケーションに高精度のフォトリソグラフィおよびフォトハードニングサービスを提供します。システムの精度、効率、適応性により、最先端のマイクロエレクトロニクスアプリケーションに最適です。
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