中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9229569 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、TEL株式会社が製造したフォトレジスト機器で、精密な深紫外線露光機能を必要とする半導体業界の企業が使用する、より高度なフォトレジストツールの1つです。TEL ACT 8システムは、シリコンウエハー、リソグラフィーテストマスク、レジスト材などの深紫外線露光を必要とする材料の非常に安定した均一で制御可能な露光を提供するように設計されています。このユニットは、高出力の水銀蒸気ランプからなる露出チャンバーで設計されており、最適な露出結果を確保するために反射露出方法を使用しています。TOKYO ELECTRON ACT 8マシンには、正確なフォーカシングとアライメント、露出プロセスの監視、および露出プロセス中のフィードバックと修正をオンザフライで提供するように設計された自動コントローラツールが含まれています。この露出制御アセットには、光学および紫外線強度センサも装備されており、最適な露光時間、焦点、露光結果を認識することができます。このモデルは、光学シャッターメカニズムで構成することができ、多層レジストをスムーズかつトランジションで露出または複数のレジストレイヤーと組み合わせて露出することができます。これにより、光学アライメントでより複雑なパターンを実現し、凹凸や形状のバリエーションを大幅に低減してパターンを正確に転送することができます。ACT 8機器には、深紫外線にさらされる前に基板があらかじめ焼かれていることを保証する基板プレベーク機能も含まれています。これにより、露出した材料が露出する前に適切に結合され、十分に準備されることを保証することができます。プレベーク機能は、露出材料の硬化時間を短縮し、露出プロセスがより速く信頼性が高いことを保証します。TOKYO ELECTRON ACT 8システムは、業界で最も先進的なフォトレジストシステムの1つです。高度な機能と優れた精度で設計されており、優れた深紫外線露光機能を保証します。露出制御ユニット、プレベーク機能、およびシャッターメカニズムにより、再現性と信頼性の高いフォトレジスト処理能力を必要とする企業にとって、機械は信頼性が高く、高度にカスタマイズ可能なソリューションとなります。