中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9220020 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、マイクロエレクトロニクス製造に使用されるフォトレジスト機器です。これは、特許取得済みの光学自動Lithography™ （OAL™）技術により、最高レベルの精度と再現性を提供するように設計された完全自動化システムです。TEL ACT 8ユニットは、フォーカス、ウェーハアライメント、パターンアライメント、オーバーレイ、回転を90分未満で自動的かつ正確にキャリブレーションし、最大8個のウェーハを同時に使用することで、最新の大量生産ニーズに対応するように設計されています。8インチまでのウェーハ処理が可能で、解像度は0。1ミクロンです。このマシンには、高度に統合された高度な製造機能のスイートが装備されています。超高速デュアルレーザースキャン露光（LDSE）モジュールは、高精度で安定した露光を実現します。2軸回転と画像認識技術を備えた5軸アライメントツールは、ウェーハの重要な機能を正確にアライメントします。また、レンズ表面とウェーハの接触を防ぐ特許取得済みのレンズ保護モデルを搭載し、レンズの長寿命を実現しています。スキャン機構を備えたウェハトランスポートモジュールにより、露出したウェハを簡単に搬送することができます。さらに、クリーンな作業環境を確保するために、コンパクトで効率的な防塵容器装置を使用しています。また、超高解像度・高収率アプリケーション向けのArFフォトレジスト、低解像度向けのI-lineフォトレジスト、KrFフォトレジストなど、さまざまなフォトレジストをサポートします。また、さまざまなマイクロエレクトロニクス製造ニーズのための幅広いエッチケミストリーを可能にします。ACT 8フォトレジストユニットは、高解像度と歩留まりのマイクロエレクトロニクス部品の生産のための高度で信頼性の高い機械です。プロセスパラメータの自動校正や高度に統合された製造機能など、いくつかの高度な機能を備えています。その実績ある精度と再現性により、他のフォトリソグラフィーシステムとは一線を画し、大量の重要な部品を使用した生産に理想的なソリューションとなります。