中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9213368 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、半導体製造用途に最適な最先端のフォトレジスト機器です。このシステムは、高度な技術と信頼性と使いやすさを組み合わせて、プロセスの一貫性を確保し、歩留まりを向上させます。ユニットは基板から始まり、フォトレジストと呼ばれる感光性抵抗材料でコーティングされます。コーティングされると、レジストは露出領域を重合紫外線にさらされます。この露出された領域は、その後の化学エッチングプロセスに無感覚になり、露出していない領域を除去します。TEL ACT 8は、7軸モーションコントロールマシンを使用して、露出線量率を正確に管理します。これにより、高解像度のパターン作成とプロセス歩留まりの向上が可能になります。ツール全体を幅広いデバイス製造プロセスに統合できます。この統合の一環として、制御ソフトウェアはオペレータインターフェイスを提供し、操作とレシピ作成を容易かつ信頼性の高いものにします。このアセットは、高度なイメージングモデルも備えています。これにより、エッチプロファイルの正確な決定と、プロセスからのデータのその後の分析が可能になります。この高度なイメージング装置により、レジストが制御された方法で除去され、その後のデバイス製造プロセスを正確に制御できます。TOKYO ELECTRON ACT 8は、信頼性の高いフォトレジスト加工に必要なすべての機能を提供します。これには、自動ウェーハハンドリング配信、露光線量制御、パターニング、エッチング、イメージングが含まれます。これにより、効果的なプロセス制御が実現され、プロセスの一貫性が保証され、デバイスの歩留まりが向上します。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、フォトレジストプロセスのための完全なソリューションシステムです。この高度なユニットは、一貫した効率的なプロセスを保証するために、最新の技術と信頼性の高い操作を備えています。このマシンは、デバイスメーカーやユーザーにも大きなメリットをもたらします。