中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9183643 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、高度な露光制御技術とリソグラフィープロセスを組み合わせたフォトレジスト機器です。独自の露出制御と位置決めアルゴリズムを使用して、ライン幅の露出とアライメントの高精度と精度を保証します。さらに、このユニットの高速応答と信頼性の高い露出エネルギー補償により、ウェーハ全体の優れたライン幅の均一性を保証します。TEL ACT 8マシンは、優れたステップと繰り返しの精度とアライメントを確保するために、大面積の高解像度ウェハイメージング露光制御技術を使用しています。これには、高度な露出制御および効果的な露出管理のための露出制御微調整を提供する自動露出制御ツールアルゴリズムが含まれます。さらに、大面積イメージングと高い光学倍率により、高精度のリソグラフィープロセスで小さな欠陥、微細なパターン、および接触穴を検査することができます。TOKYO ELECTRON ACT 8モデルは、ソフトウェア制御顕微鏡スキャンによる高精度アライメントにより、高精度かつ再現性の高い露光効率を実現します。さらに、ウエハハンドラとスキャナは最大30ミクロンのステップアンドリピート精度を提供し、高品質で均一なリソグラフィープロセスを保証します。TEL ACT 8装置には、露出安定性とパターンサイズの変化を継続的に監視し、出力を正確に維持する高度なプロセスモニタが搭載されています。さらに、自動欠陥検査（ADIA）プログラムが統合されており、リソグラフィ処理中に自動的に異常を検出します。これにより、ユーザーは潜在的な問題をすばやく特定し、本番環境の欠陥を減らすことができます。要するに、TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は高性能フォトレジストユニットです。高度な露出制御技術とリソグラフィープロセスを組み合わせ、ライン幅の露出とアライメントの高精度と精度を確保します。高速応答と信頼性の高い露出エネルギー補償により、ウェーハ全体で優れたライン幅の均一性が保証されます。また、大面積イメージングおよび高度なプロセスモニタおよびADIAプログラムにより、潜在的な問題を特定し、欠陥を低減できます。