中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9181934 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、TEL （TOKYO ELECTRON）が開発したフォトレジスト機器です。このシステムは、フォトリソグラフィ、マスク、エッチングなどのさまざまなアプリケーションに使用できます。このフォトレジストユニットには、さまざまなフォトリソグラフィープロセスで使用するための優れた選択肢となる多くの機能があります。まず、このフォトレジストマシンは、異なる露出レベルを提供するために調整することができる特殊なタイプの露出ヘッドを使用しています。これにより、ユーザーは使用しているフォトリソグラフィープロセスに従って露出を調整することができます。さらに、このフォトレジストツールは、優れたレジスト均一性と信頼性の高いパターニングを提供するために使用される高感度のレジスト生成を使用しています。この抵抗器はまたフィルム厚さの範囲と使用することができます。さらに、TEL ACT 8には、フォトリソグラフィ工程ごとに最適な露出を求めることができる自動露出センサアセットも搭載しています。このモデルは、一貫した結果を得るために露出設定を設定および制御するための自動化されたプロセスをユーザーに提供します。また、自動欠陥検査システム、オンボードモニター、アラームユニット、基板からフィルムを取り外すための真空ユニットなど、さまざまな機能を備えています。オートクロージングシャッターも付いています。また、ウェハ操作を自動化する外部ウェハハンドリングロボットとの統合も可能です。TOKYO ELECTRON ACT 8は、フォトリソグラフィープロセスのためのシンプルで費用対効果の高いソリューションです。使いやすく、優れた結果で信頼性の高いパフォーマンスを提供します。小規模および大規模製造施設の両方で、このツールを生産プロセスに組み込むことで大きなメリットを得ることができます。