中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9159075 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、高解像度・高精度マイクロエレクトロニクスの製造用に開発された先進的なフォトリソグラフィ装置です。このシステムは、強力な光学、スキャン、画像処理機能を備えており、ユーザーは微細な機能と非常に小さな構造を持つデバイスを生産することができます。単位は多数の部品から成っています。最大波長248nmのエキシマーレーザーを採用し、フォトレジストフィルムを直接撮影します。フォトレジストフィルムは、不活性ガスを使用して均等に分散する特殊なコーティングチャンバー内に調製されます。これにより、レーザーは小さなデバイスの作成に必要な構造を正確に形成することができます。マシンの光学系は、フォーカスとレーザービームを再フォーカスする一連のレンズで構成されています。細かいディテールを提供するために、レンズシステムは非常に小さな公差で設計されています。彼らは2つの別々のグループで構成されています。最初のイメージングのための1つのグループおよび特徴のサイズを進めるための第2。これらのグループには、イメージングの品質を微調整するいくつかの追加デバイスも装備されています。レーザービームを正確に導くために、電子制御のガルバノメートルスキャンミラーが特長です。このツールを使用すると、あらゆる角度を迅速かつ正確にスキャンして、非常に小型で複雑なマイクロエレクトロニクスを形成できます。TEL ACT 8の画像処理能力は、高精度なデバイスの作成に不可欠です。デジタルイメージプロセッサは、不規則性を認識し、正確な適合性を保証するために使用されます。精度と品質保証のために、ナノメートルレベルまで特徴を検出することもできます。TOKYO ELECTRON ACT 8には、堅牢なアフターイメージングソリューションもあります。イメージングプロセスに続いて、デバイスのパフォーマンスをさらに向上させるために、一連の高度な処理がプリフォームされます。ガス処理は接着性に優れ、アルカリ処理は導電性を高めるために使用できます。強力な光学、スキャン、画像処理能力を備えたACT 8は、マイクロエレクトロニクスデバイスの作成にとって非常に貴重な資産です。その高度な機能とアフターイメージングソリューションにより、ユーザーはパフォーマンスと小さな複雑な機能を備えたデバイスを作成できます。