中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9145487 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、集積回路の製造を支援するフォトレジスト（化学活性）装置です。このシステムは、感光性化学薬品（フォトレジスト）を利用して、半導体基板の表面に精密な画像を作成します。フォトレジスト（Photoresist）は、光に反応する化学物質を含む感光性材料の一種。TEL ACT 8ユニットは、フォトレジストコーティングモジュール、アライメントモジュール、UV露光光源を内蔵しています。フォトレジストコーティングモジュールは、ウェーハ表面にフォトレジストを均等に広げて、その後の露出画像処理に適したレイヤーを作成するために使用されます。アライメントモジュールは顕微鏡ステージに取り付けられ、複数のウェーハアライニングメカニズムが含まれています。アライメント機構は、適切なイメージングのための特定の位置にウェーハを導きます。また、顕微鏡ステージにはUV露光光源を搭載しています。紫外線を利用してフォトレジストを露出させ、化学を活性化させ、下の基板に移すパターンを作成します。この光源は、5nm程度のサイズの高解像度画像を作成することができます。フォトレジストが露出したら、処理モジュールを使用して画像を開発します。このモジュールは、露出していないフォトレジストをエッチングし、下のパターンを明らかにします。イメージングプロセスが完了した後、回路を完了するためにさらなる処理ステップが行われます。これには、ベーキング、エッチング、沈殿が含まれる場合があります。TOKYO ELECTRON ACT 8マシンは信頼性が高く、処理速度は1時間あたり最大180ウェーハです。さらに、5nmまでのフィーチャーサイズのパターンを生成することができます。半導体製造において、歩留まり率の高い高性能回路の製造に広く使用されています。