中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9142710 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、様々なリソグラフィ工程での使用を想定したフォトレジスト装置です。このシステムは、光学的にフォトレジスト材料を紫外（UV）または極端な紫外（EUV）光にさらすために使用され、フォトレジスト内のパターンの形成を可能にします。TEL ACT 8は、感光材料におけるパターンの特定の特徴を効果的に拡大するプロジェクションオプティクスを採用しています。フォトレジストユニットには、パターン、プロジェクションレンズ、さまざまな光学部品を含むプロジェクションマスクが含まれており、感光材料にUVまたはEUV光を指示します。プロジェクションオプティクスは、フォトレジスト材料の露光において高分解能と精度を提供します。様々なマスクアライナーやステッパーで使用でき、幅広い性能を発揮します。また、東京エレクトロンアクト8は、パターン転送やアライメント登録など、さまざまな操作に使用できます。また、フォトレジストツールと組み合わせて、さまざまな開発プロセスを使用することができます。さらに、アセットは温度と圧力設定の範囲で使用することができ、望ましい結果を得るためのプロセスの最適化を可能にします。このフォトレジストモデルは信頼性が高く使いやすいため、半導体フォトリソグラフィ、フラットパネル製造、光学MEMS製造など、さまざまな用途に適しています。この装置は、シリコン、石英、ガラスなどのさまざまな基板とも互換性があります。ACT 8は、さまざまな業界のさまざまなニーズを満たすために、さまざまなサイズと構成で利用できます。フォトレジストシステムは、さまざまな国際的な品質基準と安全プロトコルに準拠しているため、さまざまな重要なアプリケーションに適しています。ウェーハハンドリングやロボットアームなど、さまざまなアクセサリーで使用でき、機能性を高めます。このマシンには、資産パフォーマンスと運用データを便利に追跡するためのデータロギングツールも内蔵されています。全体として、TEL ACT 8は信頼性の高い正確なフォトレジストモデルであり、さまざまなリソグラフィープロセスで使用するために設計されています。使いやすく、さまざまなマスクアライナー、ステッパー、開発プロセスで使用できます。装置はいろいろな適用のために適しており、さまざまなサイズおよび構成で利用できます。