中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9142707 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、TEL Limited (TOKYO ELECTRON)が開発したフォトレジスト機器です。半導体業界のフォトリソグラフィやリソグラフィ用途に使用される高度で汎用性の高いシステムです。TEL ACT 8にはいくつかのコンポーネントが含まれています。これらには、高品質の均一スキャナ、完全に自動化されたフォトレジスト管理ユニット、および高度なウェーハ処理チャンバーが含まれます。スキャナは、高い精度でウェーハ上の画像をパターン化するために使用されます。幅広い電子機器に適した0。25ミクロンのスキャン分解能を実現します。TOKYO ELECTRON ACT 8の自動フォトレジスト管理機は、フォトリソグラフィープロセスとリソグラフィープロセス全体で一貫した品質と精度を確保するために使用されます。このツールには、各ウェーハのフォトレジストの使用を追跡および監視する精密ベースソフトウェアパッケージが装備されています。また、不要な洗浄やメンテナンスの必要量を減らすために設計されています。TOKYO ELECTRON ACT 8の高度なウェーハ加工チャンバーは、一貫した再現性を確保するよう設計されています。このチャンバーには、改良された熱制御モデル、気流ダイナミクス、振動制御技術などが搭載されています。これは、高速で非常に強力で高度なリソグラフィーアプリケーションを提供することができます。ACT 8はまた、プロセス全体を制御するための高度なソフトウェアパッケージを備えています。このパッケージは、スキャナとウェーハ処理チャンバを同期させるのに役立ち、効率的かつ正確なリソグラフィを可能にします。さらに、ウェーハのパターンを直接操作できる革新的な「ダイレクトライト」機能も備えています。これは、従来のリソグラフィ法と比較して優れた結果を達成するのに役立ちます。全体として、ACT 8はフォトリソグラフィおよびリソグラフィ用途を要求するための高度なフォトレジストシステムです。高品質で高精度な電子デバイスを製造しようとする半導体業界の企業にとって不可欠なツールです。
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