中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9122207 を販売中
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販売された
ID: 9122207
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
(2) Coaters SOG system, 8"
Wafer type: Notch
Signal tower: ETC (3-lamp)
Main controller version: Version #2
Software version: N/A
Inline: No
DUV (chemical filter): No
Manual operation: No
Cassette block: Normal type (TEL STD)
Process block: Single block
SOG Coater: 2-3, 2-4
High hot plate (HHP): 2-13, 2-14, 2-21, 2-23, 2-24
Low hot plate (LHP): 2-11, 2-21, 2-12
Chill plate (CPL): 2-5, 2-9, 2-15, 2-17
Transition stage (TRS): 2-8/2-7 TCP
Thinner chemical supply: CCSS (2 buffer tank)
(1) AC Power box
(1) Cup temp/humi: ESA-2S-T-01
(1) Temperature controller: INR-211T-24 (2) pumps, (4) CPL
(1) Chemical cabinet
Missing / Damaged parts:
LCD
DC Power supply
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、フォトリソグラフィーシステムでの使用を可能にする高度な技術を取り入れたフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、ウェーハやデジタルカメラレンズなどの基板上にマイクロストラクチャーを作成するために重要です。このフォトリソグラフィーユニットは、極めて精度の高いウェーハまたはレンズ上にこれらの微細構造を形成することを可能にします。TEL ACT 8は、いくつかの重要なコンポーネントで構成されています。その制御機械は強力なプログラマブルロジックコントローラ（PLC）技術の使用を統合します。これは、フォトレジストを適用するために必要な機器の操作のシーケンスを制御します。また、フォトレジストの露出レベルも監視します。使用されるオートメーション技術は高精度であり、関連するプロセスを正確に調整することができます。TOKYO ELECTRON ACT 8は、出力の精度と信頼性を確保するための計算機能を内蔵しています。フォトレジストの露出には最大192ステップの容量があります。これにより、正確で信頼性の高いフォトレジストの露出を高度にカスタマイズできます。このツールは、最大8Mbのストレージ容量を持つ幅広いメモリモジュールも提供します。これにより、露出データやその他の必要な情報を包括的に保存できます。フォトレジストシステムには、ニコン/Vistion独自のフィルム測定アルゴリズムが搭載されています。この機能により、露出の正確な測定が可能になり、関与するプロセスの全体的な精度が向上します。TEL ACT 8はまた、2つの16ビット高速プロセッサを備えたユニークなチップを備えています。これにより、資産の機能が強化され、信頼性と精度の面でチップのパフォーマンスが最適化されます。安全性に関しては、東京エレクトロンアクト8にフェイルセーフモデルが搭載されています。この機能は、予期しないインシデントによりユニットが故障しないようにするために重要です。安全機能は、運転中に発生する深刻な問題や障害の可能性を軽減するのに役立ちます。全体として、ACT 8は高度でありながら直感的なフォトリソグラフィ装置です。それは複数のコンテキストでの使用の柔軟性を促進する精度のレベルを提供します。先進技術を取り入れ、フォトレジストシステムの精度を高め、高品質な出力を実現します。
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