中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9121685 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、半導体製造に使用されるフォトマスクやフォトマスクのエッチング、露出、整列、開発を目的としたフォトレジスト機器です。高度なマイクロプロセッサ制御ステッピングユニットを備えた高度なフォトリソグラフィーシステムです。TEL ACT 8の最先端の特徴は、ウェーハとフォトマスクを正確に合わせることです。この機械は、+/-2ミクロンの精度で正確かつ再現可能なアライメントを可能にします。これにより、ウェーハに露出したパターンが正確にマスクに登録されます。このツールはまた、高速で正確な露出を可能にする最先端のマルチステージ露出アセットを備えています。このモデルには、レジストスピナーと精密マイクロプロセッサによって制御された10,000rpmスピナーが含まれています。これにより、レジスト材料の正確で反復可能で均一な堆積が可能になります。TOKYO ELECTRON ACT 8はまた、非常に正確で反復可能な真空チャックを備えています。これにより、ウェーハを滑らずにしっかりと保持することができ、ウェーハ表面の汚染を防ぎます。この装置には、DUV（深紫外線）またはIR（赤外線）のいずれかの光源が含まれており、特定の波長の光を露光に使用することができます。また、エッチングや開発工程での大気・温度の制御はもちろん、開発段階でのケミカルアッシングにも活用できるプロセスガスハンドリングシステムも搭載しています。露出・開発ユニットは、開発プロセスをリアルタイムで観察できる高解像度カメラを搭載し、スルーフォーカスビューを提供することで、小型でも露出・開発プロセスを最適化し、望ましい結果を得ることができます。TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、温度、湿度、ガスの流れ、圧力センシングなど、加工チャンバー内の環境条件を監視することも可能です。これにより、一貫したプロセス結果が保証され、正確な環境条件を必要とする多くのプロセスにとって重要な機能です。ACT 8は信頼性の高いフォトリソグラフィーユニットで、正確で再現性のあるアライメントと洗練された自動露出を備え、機械を開発します。完全に自動化された操作により、あらゆる生産環境に最適です。