中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9113642 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は薄膜表面をパターニングするフォトレジスト装置です。半導体デバイス製造の研究開発における精密リソグラフィ処理用に設計されており、特徴サイズが小さく再現性の高い複雑なナノ構造を製造しています。8インチの角度補償型プロジェクションリソグラフィー（ACPL）ユニットを搭載し、パターンの歪みや変形を伴わない幅広い基板材料へのイメージングが可能です。専用レンズとデジタル処理アルゴリズムを組み合わせた先進的な光学機器を搭載し、高解像度で幅広い構造パターンを正確に投影します。このツールは、マルチパーティ相互運用性に最適化されたプラットフォーム上に構築されており、さまざまな基板台、テストスタンド機器、およびロボットシステムとの統合を可能にします。この統合された資産は、マイクロオプティクス、マイクロフォトニクスデバイス、ナノメートルスケールまでのパターンなどの分野で、高度で高精度なイメージングソリューションを提供することができます。TEL ACT 8は、in-situイメージ評価を統合したプロセスデバッグも可能です。パターニングから結果へのこのフィードバックループにより、パターニングプロセスをより迅速に最適化できます。ウェットケミカルベースの洗浄モデルを使用して、残留レジスト層やその他の堆積物の除去を実現します。また、グレースケールリソグラフィー、マスクレスリソグラフィー、方向選択露光などの高度なパターニング技術を含む、さまざまなアプリケーションに焦点を当てた機能を備えています。TOKYO ELECTRON ACT 8は、小型の高性能で信頼性の高いフォトレジストシステムです。このユニットの統合された設計と強化されたアプリケーションの焦点は、高い再現性、柔軟性、およびユーザーの扱いやすいことを保証します。