中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #293610442 を販売中
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ID: 293610442
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2004
(2) Coater / (2) Developer system, 8"
Chiller
Chemical box
Power box
Temperature and humidity controller
Signal tower: (3) Lights
Open cassette carrier
Bake board type / Cooling board type: Proximity, Spacer
Solvent supply method: Canister automatic switching, 10 L
DEV Cup: PP+POM
Modules:
I/F
ADH
(3) TRS
(3) CPL
(6) LHP
CWH
WEE
(4) STG
DEV Nozzle:
E2 Nozzle
Rinse
Back rinse
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8は、世界有数の半導体製造装置メーカーであるTELが開発したフォトレジスト機器です。このシステムは、5µm分解能でウェーハ上に回路などのパターンを作成することができます。1回の露出で複数のレイヤーをパターン化できるマルチパターニングフォトレジストユニットです。TEL ACT 8は、12インチウエハから24インチウエハまでの大容量で、大量の基板を同時に処理することができます。その高度な光学機器は、精密かつ均一なパターニングを可能にします。高速スキャナは、従来モデルよりも高速かつ高精度で基板を移動できます。それはよりよい端の配置の正確さのための精密なプラズマの投薬の技術を特色にし、精密なパターン化のための高速アークのプログラミングを収容できます。TOKYO ELECTRON ACT 8ツールは、高度な絞りアセットにより、優れたウェーハアライメント機能も備えています。さらに、ウェーハは内蔵の光学顕微鏡を介してより密接に検査することができ、欠陥の発見や基板表面の観察に使用することができます。このモデルはまた、低粒子の汚染とタイトな粒子制御を提供します。よりクリーンな環境を確保し、機器に存在する粒子のサイズと量を監視するために、自動スキャン粒子検出器が装備されています。粒子検出器とともに、湿気やクリーンルームの空気による汚染を低減することができます。さらに、製品加工時の安定した環境を確保し、製品露出時の熱流動を低減できる温度制御装置を搭載しています。また、フィルム収縮を最小限に抑え、生産歩留まりを向上させます。TOKYO ELECTRON ACT 8ツールは、半導体産業における最先端のフォトレジストプロセスに最適なソリューションです。その優れた解像度機能とフィルム厚さの厳格な制御により、最も信頼性が高く、一貫性のあるフォトレジストシステムの1つです。高度な機能と機能を備えたACT 8アセットは、統合チップの製造におけるすべてのフォトレジストのニーズに最適です。
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