中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9412735 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、半導体製造の高度なフォトリソグラフィープロセス機能を提供するために設計されたフォトレジスト機器です。この最先端のシステムは、優れた画像解像度と均一性を備えた高度なデバイスアーキテクチャを正確かつ効率的に開発することができます。フォトレジストユニットは、高解像度の光学系と複数のイメージングモードを使用して強化されたパターンと画像を作成する完全なステップアンドスキャンイメージングマシンを備えています。TEL ACT 12にはさまざまなパラメータが用意されており、ユーザーはさまざまなプロセスの要件に合わせてツールをカスタマイズできます。その完全なステップアンドスキャンイメージング資産は、最大0。18ミクロンの最高解像度の画像を生成することができます。このモデルは、複数のイメージングオプションをユーザーに提供するために、フルフィールドイメージングとステップアンドスキャンイメージングの2つのモードを備えています。フルフィールドイメージングは、1つの露出で画像全体を生成し、ステップアンドスキャンイメージングは、複数の露出を組み合わせて高解像度の画像を生成します。TOKYO ELECTRON ACT12は、ユーザー体験を向上させる様々な機能を提供しています。これらの機能には、自動化されたウェーハアライメントとセンタリング、ビームの自動フォーカシング、および低Kブラックエッジ防止が含まれます。自動化されたウェーハアライメントおよびセンタリング装置は、パターン配置の最高精度を保証し、ビーム集中機能により解像度とズームが向上します。ブラックエッジ防止機能は、露出したフォトレジストのエッジからの回折によるパターン歪みを最小限に抑えます。TOKYO ELECTRON ACT 12のユーザーインターフェースにより、システムの簡単なナビゲーションと制御が可能です。それは非常に直感的でユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスが付属しています。このインターフェースを通じて、ユーザーはプロセス全体のパラメータを操作および監視し、データのリアルタイム分析を行うことができます。さらに、このユニットには、シームレスなユーザーエクスペリエンスを提供するために、データアーカイブおよび検索マシンも装備されています。TEL ACT12は、これまで以上に高速かつ効率的にプロセスを完了しながら、最高品質の画像を提供するように設計された高効率で高度なフォトリソグラフィーツールです。アセット内に含まれる様々な機能と機能を備え、半導体製造に携わる人々にとって信頼性が高く効果的なツールです。
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