中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9384924 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、TEL Limited （TOKYO ELECTRON）が光源、フォトマスク、投影光学を組み合わせて開発したフォトレジスト機器です。半導体産業を中心に集積回路の製造に使用される大規模な登録・パターニングシステムです。このユニットは、光学機器、基板テーブル、制御ツールの3つの主要コンポーネントで構成されています。光学アセットには、光源モジュールと投影レンズという2つの主要なコンポーネントがあります。光源モジュールは、短波長エキシマレーザー、ガスレーザー、照明ランプなどの光源で構成されています。光学モデルで使用されるプロジェクションレンズは、基板にパターンを正確にコピーするための最高品質の画像焦点を提供するように設計されています。プロジェクションレンズの下にウェーハを正確に配置するために、高精度の5軸基板ステージを使用します。5軸ステージは、最新の技術で解決できる最小パターンフィーチャーをサポートするために、高い安定性と高精度を提供します。制御装置は、Windows OSプラットフォームに基づいており、ユーザーフレンドリーな操作を可能にします。自動アライメント機能、およびその他の洗練されたパターニング制御機能が含まれています。このシステムは、単一のフォトマスクを使用して繰り返しパターンを作成するために使用できます。または、複数のフォトマスクを順番に配列して使用して、より複雑なパターンを作成することもできます。TEL ACT 12は、高スループット、低コスト、信頼性、メンテナンス性を備えた大量生産向けに設計されており、お客様に設計を物理デバイスに変換するための効率的で効果的なツールを提供することができます。このマシンは、RFコンポーネント、薄膜トランジスタ、メモリチップ、複雑なプロセッサ設計など、さまざまなコンポーネントを作成するのに適しています。最小幅が7nmと小さくなるため、1つのダイで回路図と微細加工パターンを必要とする部品の製造に適しています。TOKYO ELECTRON ACT12は、高精度の光学部品、5軸基板ステージ、高度な制御アセットからなる高度なフォトレジストツールです。このモデルは、優れた性能と高品質により、ミニチュアと複雑なパターンを必要とする部品の製造に最適であり、半導体業界にとって貴重なツールとなっています。