中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9377247 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、リソグラフィープロセスに使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは反応性化学を用いて、ウェーハなどの基板にレイアウトパターンを転送します。全体のプロセスはフォトリソグラフィーと呼ばれるプロセスに基づいており、そこで光を使用してマスクからウェーハにパターンを転送します。このプロセスは、フォトレジストとも呼ばれる感光材料をウェーハに適用することから始まります。このフォトレジストは、マスクとして機能する光にさらされています。一連の化学薬品でウェーハを開発すると、光にさらされた部分だけがウェーハに残ります。TEL ACT 12は、エキシマレーザーから使用される紫外線を制御することができる高精度なユニットで、照射時間と強度を正確に制御できます。この高度な制御機能の組み合わせにより、正確で複雑なパターンをウェーハに印刷することができます。コンピュータ制御のウェーハステッピングスキャナで動作し、ウェーハの回路パターンにマスクが正確に揃うように正確にウェーハを配置します。このステッピングスキャナは、正確なパターンがウェーハに印刷されることを保証するために、フォーカス用フォトレジストマスクの位置を制御する機能も備えています。フォトレジストは、フォトレジストの露出された部分が溶解して「、開発された」フォトレジストとして知られているものにつながる開発者で開発されます。このプロセスにより、集積回路内のさまざまな層を正確にエッチングできます。TOKYO ELECTRON ACT12ツールは、高純度シリコンウェーハから石英、ガラスまで幅広い基板に対応し、異なるリソグラフィ用途に合わせてさまざまなステッピングスキャナ工程を組み込むことができます。多数のプロセスを同時に実行することができるため、半導体デバイスの製造に不可欠なツールとなっています。要するに、ACT12は、紫外線と反応性化学を使用して基板にパターンを正確にエッチングするフォトリソグラフィ資産です。このモデルは汎用性が高く、高純度のシリコンウェーハから石英やガラスまで幅広い基板に対応でき、さまざまなリソグラフィ用途に合わせてさまざまなステッピングスキャナ工程を組み込むことができます。