中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9358605 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、高度集積回路の製造に使用されるフォトレジスト機器です。光源、光学系、スプレーディスペンスシステム、コントローラ、ソフトウェアで構成されています。光源は、フォトレジスト材料を正確に露出させ、スプレーディスペンスユニットによってウェーハに分配することができます。コントローラーおよびソフトウェアは機械の制御そして監督を提供し、露出変数、フォトレジストの適用、また装置の診断のプログラミングを可能にします。光源はストロボ照明に基づいており、電子ビームダイオードを備えています。電子ビームはビームエミッタを通過し、レンズと最後にスリット開口部を通過します。これにより、露出が拡大され、均一な光分布が実現されます。この光学系は、ウェーハ上の非常に均一な照明パターンを確保するように設計されています。この光学系にはカラーフィルターと絞りマスクがあり、被写界深度を最適化し、均一性を向上させます。スプレーディスペンスツールは、圧力パルスと低電圧、高周波発生電場の組み合わせを使用しています。これにより、ウェーハ上のフォトレジスト素材の均一で正確かつ再現性のあるカバレッジが可能になります。コントローラとソフトウェアはアセットの操作を制御し、ユーザーは露出パターンを設定したり、プロセス全体をプログラムしたりできます。このソフトウェアはまた、画面上の診断を生成し、モデルとコンポーネントの状態と結果の画像の分析に関するユーザーのフィードバックを与えます。要するに、TEL ACT 12フォトレジスト装置は、複雑な集積回路を高精度かつ効率的に製造する方法です。光源、光学系、スプレーディスペンスシステム、コントローラ、ソフトウェアを組み合わせることにより、ユニットは高品質で一貫した結果を提供することができます。