中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9351398 を販売中
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ID: 9351398
Coater system
(8) RRC Pumps
(2) Pump I/O board
Load port board
Load port CONN board
Load port DC / DC CONV board
Controller: Type 3
Spin motor: PANASONIC Motor
AC Power
Chemical box
(2) T & H ME2 Temperature controllers.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、高エネルギー電子ビームを利用してフォトレジストフィルムを公開するフォトレジスト機器です。フォトレジストは、ナノメートルの精度で様々な電子デバイスやデバイスを製造するために使用されます。このシステムは、直接書き込み電子ビームリソグラフィー（DWEL）ユニットの特性を利用してフォトレジスト膜を露出させます。この機械は、電子を放出する特殊なフィラメントを使用して構築された電子銃を使用しています。生成された電子は、高電圧電場によって銃を介して加速され、フォトレジスト膜に当たる高エネルギー電子ビームが得られます。電子ビームのエネルギーは、電子ビームを制御することができるエネルギーアナライザを使用して監視されます。システムのエネルギー範囲は10〜600KeVで、スポットサイズは50nm〜0。5 μ mです。電子ビームの露出は、ビーム電圧と電流、そのスポットサイズ、および露出の持続時間を制御することで構成される、アクチニック露出に続いています。さらに、このツールは、電子ビームの電流密度と位置を制御して、パターン形状と特徴が正確かつ均一に露出するように、露出線量を正確に制御することができます。フォトレジストフィルムは、フィルムに標準的なフォトレジストスピンコーティングを施し、電子ビームに選択的に露出する2段階の蒸着プロセスを使用します。この後、露出領域が開発され、電子部品をパターン化するために使用されます。さらに、フォトレジストアセットの性質は、より高い空間分解能を可能にし、製造された電子部品の複雑な詳細を保持します。このモデルは、電子ビームの高エネルギーとより小さなスポットサイズの恩恵を受ける非常に小さな電子部品を構築するのに適しています。さらに、装置には、以前に構築された電子デバイスのパターンを記録して保存するためのテンプレート事前プログラマーがあり、デバイスの簡単な検索と製造を可能にします。このシステムは量子ドット製造やナノ構造などの用途に適しています。ユニットのコストも合理的で、小さな電子部品を生産しようとしている人にとって魅力的な選択肢です。
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