中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9315813 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、マイクロチップ製造プロセスで使用される化学物質を処理するために設計されたフォトレジスト装置です。半導体ウェーハにフォトレジストを適用するために設計されており、高精度の測定および制御システムを備えています。TEL ACT 12は、メカニカルピックアップツールを使用せずに半導体ウェーハをユニット全体に搬送する基板搬送システムを採用しています。これにより、プロセスをより正確に制御でき、マシンを通過するウェーハのバッチごとに均一に高品質の結果が得られます。フォトレジストツールはいくつかの異なるモジュールで構成されており、それぞれがウェーハ製造プロセスのさまざまな段階を担当しています。加熱モジュールを使用して、正確な温度と時間でウェーハを加熱し、フォトレジストを均等かつ完全に塗布します。別のモジュールは、フォトレジストを適切に開発するために開発者の化学物質を混合して分配するために使用され、また、非常に強力な化学物質に関連する危険性が非常に低いことを保証するための正確な安全対策も含まれています。アセットには、フォトレジストアプリケーションプロセスの各ステージを構成するために使用されるコントロールモジュールもあります。このモジュールを通じて、特定のレシピを最適に設定し、正確な濃度レベル、分散期間、および安全監視措置がお客様のニーズに合わせて調整され、誤った用量や濃度によって危険な状況が発生しないようにすることができます。また、東京エレクトロンACT12は、フォトレジストプロセスの各ステージに関連する様々なパラメータをリアルタイムで監視・記録できるクローズドループモデルで設計されています。これにより、ユーザーに追加の安全チェック手段が提供され、機器の不規則性がすぐに対処され、ウェーハの損傷を回避できます。最後に、このシステムは非常にコンパクトでスペース効率が良いように設計されており、他のプロセスや機器の混乱を最小限に抑えて、限られた領域にこれらのマシンのいくつかを設置することができます。これにより、貴重な床面積を犠牲にすることなく、処理能力を最大化しようとしているお客様にとって理想的な選択肢となります。さらに、ACT 12の閉じた性質は、すべてのプロセスが密接に監視され、外部ソースからの不正アクセスや干渉を防ぐことを保証します。