中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9290880 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、微細加工用に設計されたフォトレジスト装置です。このシステムは、優れた精度、再現性、スピードを備えた半導体デバイスの製造を可能にする高度なフォトレジスト加工技術です。UVソース、自動露出制御、自動アライメントユニットなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。UVソースは、フォトレジスト上のパターンを露出するために使用される紫外線を放射する高エネルギーのキセノンアークランプです。放射された光は、ミラーレンズを介して集中し、ウェーハに向けられます。自動露出制御は、一貫した露出を確保するために光強度を監視し、調整します。自動アライメントマシンは、高度なレーザースキャナーを使用してフォトレジストのパターンを検出します。スキャナは、フォトレジストのマスクに対する位置と向きを計算し、それに応じてアライメントを調整します。これにより、フォトレジストの露出パターンが正確で反復可能であることが保証されます。露光が完了すると、フォトレジストが開発されます。アセトンは通常、パターンを残して、フォトレジストの露出部分を除去するために使用されます。このパターンは、基板をエッチングするためのテンプレートとして使用されます。TEL ACT 12は、複雑な機能セットを備えた小型デバイスを処理できる、強力で精密なフォトレジストツールです。UVソース、自動露出制御、自動アセットなどの機能により、卓越した精度と再現性を備えた半導体デバイスを製造することができます。さらに、モデルは多様な基板と互換性があり、抵抗します。