中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9290661 を販売中
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ID: 9290661
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2002
Coater / (2) Developer system, 12"
Track 1:
Single block
ADH
Track 2:
Resist reduction: RRC
Developer nozzle: H Nozzle
RDS Resist pump: 10 ml
Oven:
(3) CPL
(7) LHP
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、TELによって開発され、世界中の販売代理店によって販売されているフォトレジスト機器で、半導体加工を中心に設計された費用対効果の高い、高度なエッチングシステムです。フォトレジストの成膜を制御することで、基板上の複雑なパターンを正確に加工することができます。フォトレジスト(Photoresist)は、半導体部品やその他の類似材料に適用される光感受性材料の一種で、追加の層をエッチングまたは堆積させて構造化します。TEL ACT 12マシンはユーザーフレンドリーに設計されており、接触リソグラフィ、スピンコーティング、マスクアライニング、後処理ステップなど、さまざまなプロセスに対応する幅広いプロセス機能を提供します。このツールには、正確なプロセス制御を保証するための強力なハードウェア機能が含まれています。フォトレジスト供給アセット、ウェーハハンドリングモデル、パターンジェネレータ、レーザーアライメント、オートフォーカス機構などがあります。全面的な装置は高い移動正確さおよび高精度の大きい仕事区域を特色にします。フォトレジスト供給システムは、ユニットの中心であり、基板上のフォトレジストの一貫した均一なコーティングを可能にします。また、ユーザーのニーズに応じてフォトレジスト層の厚みを調整することも可能です。ウエハハンドリングマシンは、基板の正確な移動と位置決めを提供し、パターンジェネレータは、ユーザーがエッチングするパターンを定義することができます。レーザーアライメント機能により、パターンの正確な配置が保証され、オートフォーカス機構により、ウェハ全体が同じレベルの紫外線露光にさらされます。また、TOKYO ELECTRON ACT12ツールには、プロセスシーケンスの管理とプログラミングを簡単に行える、直感的なソフトウェア制御プログラムが含まれています。これにより、自動製造業務に最適な資産となります。このソフトウェアは、プロセスパラメータの組み込みライブラリを備えており、プロセスニーズに応じてカスタマイズできます。また、プロセスのエラーや問題をユーザーに通知する安全機能も含まれています。全体的に、TEL ACT12モデルは、高度なプロセス機能と使いやすさを備えた費用対効果の高いフォトレジスト機器をお探しの方に最適です。システムの堅牢なハードウェア機能により、一貫した正確なプロセス制御が可能です。直感的なソフトウェア制御プログラムにより、スムーズな運用とメンテナンスが可能です。
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