中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9289936 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、TEL Limitedのフォトレジスト機器です。このシステムは、精度を損なうことなく、マイクロエレクトロニクス機器などの高速生産を提供します。液体フォトレジスト素材を使用し、スピンコーティング加工を施したウエハ表面に塗布します。このアプリケーションは、位置誤差を補正する高度な制御アルゴリズムを使用して、非常に正確です。フォトレジストを塗布すると、TEL ACT 12はウエハに紫外線光源を塗布します。この光は正確に校正され、特定の波長、ビームプロファイル、および強度に設定することができます。この光により、フォトレジスト材料は適切な光と熱のパターンにさらされ、フォトレジストの詳細な機能を作成することができます。フォトレジストが露出すると、部品はセカンダリプロセスチャンバーに配置されます。ここでフォトレジストは露出後のベーキングプロセスにさらされます。これは、材料を所望の形状に再配置するのに役立ち、フォトレジストの機能を硬化させて耐久性を高めることができます。最後に、部品は開発者ソリューションの浴槽に配置することができます。この浴槽は、光と熱が適用されていないような不要な材料をエッチングし、フォトレジストに設定された機能のパターンを残します。この後、2番目の開発者ソリューションを使用して、フォトレジストを含む残りの材料を削除し、プロセスを完了することができます。TOKYO ELECTRON ACT12は、マイクロエレクトロニクス部品の正確なパターニングのために設計された、東京エレクトロン株式会社の精密フォトレジスト機です。このツールは、スピンコーティング処理、精密紫外線、露出後のベーク、および開発者のバスを利用して、フォトレジストの詳細な機能を作成します。この資産は、精度を損なうことなく、マイクロエレクトロニクス部品の迅速な生産に有効です。