中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9271250 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、半導体製造業界のエッチング、成膜、洗浄プロセスに使用されるフォトレジスト機器です。表面の薄膜層のエッチングを正確に制御する高度な技術です。TEL ACT 12では、高解像度、高アスペクト比、および最小限のフォトレジスト残基で微生物を正確にパターン、プロット、エッチングできます。TOKYO ELECTRON ACT12は、ツールフレーム、操作コンソール、専用絞り制御ユニット、レーザー照射システムで構成されています。最初の2つのコンポーネントは、ユーザーがユニットを制御し、それに応じてパラメーターを監視および調整することができます。特殊開口制御ユニット（SACU）は、微細構造の最高分解能を確保する責任があります。これは、密集したレーザービーム、シャッター、および光学系を使用して実現します。レーザービームサイズ、ビーム形状、焦点サイズと位置を調整することで、必要なパターンを可能な限り最小のフィーチャーサイズで正確に生成することができます。レーザー照射ツールは、高いアスペクト比の微生物を効率的かつ最小限のフォトレジスト残留物でエッチングするように設計されています。これは、コンピュータ制御のレーザパターンジェネレータと外部変調レーザー光学アセットを組み合わせることによって行われます。TEL ACT12は、異なるプロセスを実行するように設計されています。成膜プロセスにより、表面に望ましい特徴を持つ薄膜を堆積させることができ、エッチング処理により基板上のパターンを正確にエッチングすることができます。また、エッチング処理後に（基板の表面をきれいにするために）ディアクティベーションプロセスを実行することもできます。TOKYO ELECTRON ACT 12は、非常に汎用性の高いフォトレジスト機器です。多種多様な基板との互換性を備えた超微細な機能を作成し、優れた結果を一貫して達成することができます。これらの機能は、シンプルなユーザー指向の操作とともに、微細加工業界のエッチング、成膜、洗浄プロセスに最適です。