中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9270889 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、マイクロエレクトロニクスの大手企業が集積回路などの高感度電子部品の製造に使用するフォトレジスト機器です。紫外線や電子などの電磁放射を利用して感光材料に模様を刻印する汎用性の高い高精度リソグラフィーシステムです。TEL ACT 12ユニットは、機械ステージと真空プレートの高度な機構により、微細な解像度と被写界制御の深さを実現します。フォトレジストウエハの整列と移動には、可動式の2軸精密機械段階が使用されます。その精度は、ウェーハが大きいか小さいかに関係なく、高品質の結果を保証します。ステージはX方向とY方向に移動でき、最大0。0001ミクロンの精度が可能です。真空プレートは、イメージングが行われている間に基板を所定の位置に保持するため、イメージングプロセス中にウェーハが移動しません。フォトレジストは、基板上の所定のパターンで必要な抵抗を正確に分配する自動化学機械を使用して適用されます。このレジストは、フォトリソグラフィープロセス中に基板を保護します。分配プロセスは、正確さ、再現性、および化学物質の効率的な使用を保証するために、コンピュータによって制御されます。イメージングツールは、超紫色の光を使用してパターンをマスクからフォトレジストに転送する真空タイトプロジェクションタイプのリソグラフィーツールで構成されています。大型基板の場合、このツールは最小11 µmの精度と0。35 µmの解像度を実現します。それは高スループットの生産のために設計されています。TOKYO ELECTRON ACT12アセットには、自動欠陥解析と検出機能も搭載しています。この機能は、高度なソフトウェアアルゴリズムを使用してパターンの欠陥を特定し、メーカーがエラーを迅速かつ効率的に特定して対処することを可能にします。TELフォトレジストACT 12モデルは、高精度で反復可能なリソグラフィとイメージングの結果をメーカーに提供するように設計されています。これにより、マイクロエレクトロニクス部品の製造と製造において最高レベルの精度と再現性が保証されます。