中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9251329 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、高度なリソグラフィ用途向けに設計された高性能フォトレジスト装置です。フォトレジストは半導体加工において最も重要な材料であり、TEL ACT 12は最高の性能と再現性を提供するために開発されました。TOKYO ELECTRON ACT12は、ウェハ全体に均一なフォトレジストコーティングを提供するように設計されています。これは、任意のアプリケーションのニーズに合わせて構成できるモジュラーシステムです。フォトレジストコーティング用の2つの成膜チャンバー、スピンリンスドライヤー、オーブン、2つのポストコーティング洗浄ステーション、専用の10ポートカセットローダーがあります。TEL ACT12は、様々な先進技術を駆使し、高精度なフォトレジスト成膜を実現しています。これらには、プログラム可能な蒸着ヘッド、レーザー干渉計フィードバックマシン、温度制御乾燥、スピン洗浄乾燥、および精密なコーティング制御のための自動TEL光学ツールが含まれます。このアセットには、高精度の5段ウェーハ真空チャックが搭載されており、正確で一貫した結果を得ることができます。TOKYO ELECTRON ACT 12は、1時間あたり最大4,000枚のウェーハをコーティングすることができ、様々な厚さのフォトレジスト膜に対応するように構成することができます。ACT 12は、2つの内蔵クリーニングステーションを備えた優れたポストコーティング清潔性を確保するように設計されています。チャンバーは、薄膜残留物やその他の表面汚染物質を効率的に除去するように特別に設計されていますが、ポストコーティングオーブンはコーティング工程中に残った残留材料や汚染物質を除去します。TEL/TOKYO ELECTRON ACT12にはTOKYO ELECTRONの高度なソフトウェアが搭載されており、すべてのモデルパラメータの手動制御とプログラム制御が可能です。ソフトウェアは、フォトレジスト沈着を正確に制御するだけでなく、複数の実行からデータを保存して分析する機能を可能にします。ACT12は、フォトリソグラフィック用途に信頼性が高く、正確で反復可能な結果を提供するように設計された高度なフォトレジスト装置です。プログラマブル蒸着ヘッド、レーザー干渉計フィードバックシステム、温度コントローラ、スピンリンスドライヤー、自動光学ユニット、5段式ウェーハ真空チャック、ポストコーティング清浄度などの高性能な機能により、優れた結果を保証します。また、TEL/TOKYO ELECTRONの高度なソフトウェアを使用して、すべてのコーティングパラメータを制御および分析することができます。