中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9251071 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、様々な半導体材料の精密かつ制御された成膜を可能にするフォトレジスト装置です。蒸発源、不活性ガスキャリアユニット、高度な制御ユニットで構成されています。蒸発源は、高効率の直流（DC）または交流（AC）電源で構成され、最大2,300gの材料を保持することができる独自のるつぼ設計です。不活性ガスキャリアマシンには、真空アダプタと半透過膜を持つキャリアチャンバーの2つの主要コンポーネントが含まれています。真空アダプタはキャリアチャンバーの接続ポイントを備えており、不活性ガスの精密なレベルの導入を可能にします。この制御ユニットは、精密なPIDオートチューニングツール、動的温度指数制御（TIC）、リアルタイムロギングアセット、精密アラームモデルなどの高度な機能を備えています。PIDオートチューニング装置は、ソースチャンバーの温度を監視し、数分以内に所望のレベルに到達するようにします。TICシステムは、さまざまな温度にわたって精密かつ再現可能な蒸着を可能にします。リアルタイムロギングユニットは、各実験中にデータを記録し、オンサイトとリモートの両方で使用できます。精密なアラームマシンは、プロセス中に発生する可能性のある不規則性を監視および信号し、ユーザーは損傷が発生する前に是正措置を取ることができます。工具全体が軽量かつ効率的で、重量はわずか20kg、描画力はわずか240Vで、さまざまな用途に適しています。また、潜在的に有毒な材料を収集して排除するための統合排気コレクターも備えています。さらに、アセットは高度に構成可能であり、カスタムパラメータとレシピ設定を各デポジションに合わせてプログラムおよび最適化することができます。TEL ACT 12は、さまざまな半導体の精密かつ制御された成膜に理想的なソリューションであり、業界標準と同等の歩留まりと品質レベルを実現します。