中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9250635 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、半導体集積回路において、高品質でリソグラフィーで生成された薄膜パターンを作成するための先端技術を活用したフォトレジスト機器です。一般的に先進的なフォトリソグラフィーユニットとして知られているこのシステムは、より小さなパターンを非常に高い速度で生成できるように設計されています。この機械は、光放射効率を向上させるために、極低温に冷却された高度なフォトエミッタを使用しています。これらのフォトエミッタを使用して、ウエハ層を紫外線などの光線で照らし、ウェハ上の化学被覆と反応させることができます。光ビームは、高出力レーザダイオードの助けを借りて生成され、その出力は高度な光学系の助けを借りて制御されます。フォトエミッタはまた、非常にタイトなフォーカスを可能にし、適切なマスキング技術と相まって非常に小さなフィーチャーサイズを達成することができます。TEL ACT 12ツールは、優れた素材と専門知識で製造された高度な高品質レンズを使用しています。これらのレンズは、複雑な微生物の生産にとって重要な非常に精密なイメージングを可能にするように設計されています。レンズはまた、光学歪みやゴースト画像を引き起こすことなく、非常に広い視野と非常に長い作業距離を可能にします。これに加えて、アセットは高度な湿式または乾式のリソグラフィープロセスと組み合わせて使用することができ、さらに小さなフィーチャーサイズを生産することができます。これは、革新的なレジスト、フォトレジストのスラリー、化学処理などの技術を組み合わせてウェーハにパターンを効果的に転送することによって実現されます。最後に、高度なサブシステムを用いた信頼性と精度の高いACT12モデルであり、異なるウエハ上でパターンを正確に再現することが可能です。これは、高度な光学系やその他の機能を使用するとともに、複雑な集積回路の作成に最適な最先端のフォトリソグラフィーシステムの1つです。