中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9244894 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、幅広い用途向けに設計されたフォトレジスト加工装置です。高精度で再現性のある多種多様な微細構造パターンを開発することができます。高度で洗練された半導体プロセスコントローラを搭載し、さまざまなカスタマイズされたプロセスをサポートします。このユニットは、200nmまでの解像度で高精細パターンを生成することができます。フォトレジストプロセスは、基板に光感受性材料の層を適用することを含みます。フォトレジストを適用すると、深紫外線などの適切なタイプの光にさらされます。この露出はフォトレジストを特定の領域で活性化させ、それらの領域で材料が硬化し、その後の化学プロセスに免疫を与える。TEL ACT 12マシンは、オペレータに必要なプロセスを設定するための強力な範囲やツールと機能を提供する独自のソフトウェアのセットが付属しています。Soft Detail Generator （SDG）プログラムが含まれており、基板に加工する前にパターンを迅速かつ正確にシミュレートおよび調整することができます。また、プロセスステップごとにガスフローを正確に調整できる独立したガスコントロールステーションを備えています。このツールの精度は、高度なモーションコントロールアセットによって支えられており、動的なモーションプロファイリングとモーションスタビライゼーションを提供して、パターンが正確かつ効率的に配置されるようにします。このモデルは、X方向とY方向の両方で基板の非常に高速で高精度な動きを実行することができます。TOKYO ELECTRON ACT12には高度なイメージング装置も搭載されており、ユーザーはパターンを作成した際にパターンを検査・検証することができます。高解像度カメラを使用して基板の画像を撮影します。基板の微小欠陥を検出し、この情報をコントローラに渡して補正することができます。また、自動化されたウェーハ洗浄および処理ユニットによってサポートされており、オペレータに効率的で統合されたプロセス制御、洗浄、乾燥、およびプレベーキング作業を提供します。統合設計により、効率的で費用対効果の高いワークフローを最小限の労力で実行できます。ACT12は、幅広いアプリケーションを可能にするように設計された効率的で費用対効果の高いフォトレジスト加工機です。高度なプロセスコントローラ、洗練されたソフトウェア、ガスコントロールステーション、高精度で高速なモーションコントロールツール、自動ウェーハ洗浄プロセスを備えています。高解像度イメージング技術により、基板の微小欠陥を検出して修正することができ、統合された設計と効率的なワークフローにより、ユーザーはフォトレジスト処理のニーズに対して強力で費用対効果の高いツールを提供します。