中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9244893 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、TELが半導体・フラットパネルディスプレイ向けに開発した高性能フォトレジスト装置です。フォトリソグラフィによる高精度なエッチングとパターン成膜を可能にする先端技術を活用しています。このユニットは、電源、ステッピングモータ、露光光源、パターン成膜プロセスモジュールの4つの主要コンポーネントで構成されています。電源は機械に精密で、安定した電力を提供することを要求されます。ステッピングモーターと露光光源に電力を供給するために使用されます。ステッピングモータは、ターゲット基板に転送するパターンを含むフォトマスクを回転して正確に配置します。露光光源は、基板上にフォトレジスト層を露出させるために使用される高精度の放射源であり、その結果、望ましいパターンを作成します。パターン化された成膜プロセスモジュールは、成膜速度を瞬時かつ正確に制御することにより、製品の実際の材料の成膜を可能にするツールのコンポーネントです。このアセットは、精密モータと高度なアライメントと制御アルゴリズムのおかげで、驚くべき精度でパターンと基板機能を再現することができます。モデルのモーションコントロール精度は10〜40ナノメートルの範囲内です。さらに、TEL ACT 12はデータ管理機能を内蔵して設計されています。これにより、パターン化された堆積物に関する実際のデータを記録し、分析することができ、各生産運転で高品質な製品を確保することができます。この装置は、実際の生産データの分析と試行錯誤を通じて、最も最適なプロセスパラメータを確立する能力を持っています。このシステムは、わずかな誤差の精度が無駄な製品における悲惨なコストを意味する大規模生産に不可欠です。TOKYO ELECTRON ACT12の高度な機能は、生産プロセスの効率性と優れた品質を求める企業にとって理想的な選択肢です。