中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9241966 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、産業用及び科学用途に使用されるフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムでは、シリコンウェーハ、金属板、ガラスなどの表面に光を使用して画像を作成します。TEL ACT 12システムは、パルス方式と連続照明方式を組み合わせ、高精度な画像を生成します。このユニットは、0。9度の角度精度で高精度の120nm分解能、および900 mW/cm2以上の明るい光源を備えています。TOKYO ELECTRON ACT12の画像投影機には、マルチフォーカス調整レンズ、XYステージ、2つのイメージングアームが搭載されています。イメージングアームは、パルス電光（PL）、連続電光（CL）、定電圧（CV）など、さまざまなタイプの電光照明を提供することができます。PL法は、所定のパルス幅を使用して、フォトレジストを所望の光強度にさらします。CV法は、ユーザーが可変デューティサイクルで投影光の電圧を制御することができ、光強度と解像度を正確に制御することができます。TEL/TOKYO ELECTRON ACT12のステージには、2軸電動アクチュエータが搭載されており、正確な画像を作成するためにウェーハや基板を正確に配置することができます。また、ウェーハの搬送や位置決めが容易なSmartRoute™工具も備えています。アセットには、画像制御（アライメントとフォーカス）を支援し、リアルタイムの画像フィードバックに基づいた調整を可能にするビジョンモデルも含まれています。全体として、基板上ACT12高精度な画像形成を可能にするフォトレジスト装置です。自動化と高度なイメージングシステムにより、半導体製造などの業界に最適です。調節可能なレンズシステム、二軸電動アクチュエータ、およびSmartRoute™ユニットはすべて、このマシンを正確な画像の制御および形成に非常に有用にする有利な機能です。