中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9239681 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、半導体製造の先進的なフォトレジスト装置です。このシステムは、フォトリソグラフィープロセスの2つの主要コンポーネントを統合します。スピンコーターとスプレーコーター。スピンコーターは均一な層のウェーハにフォトレジストを適用し、スプレーコーターはレジストパターンによって指定されたウェーハの領域にフォトレジストをスプレーします。TEL ACT 12ユニットは、フォトレジストを正確に制御することで、より高い歩留まりを持つ複雑な回路の高速生産を可能にします。TOKYO ELECTRON ACT12マシンは、スピンコーターとスプレーコーターの2つの主要なコンポーネントを備えています。スピンコーターは高精度のコーティングヘッドを使用して、均一なパターンでウェーハ表面にフォトレジストガスを供給し、レジストを均等に塗布します。また、スピンコーターは様々な速度で回転することができ、不規則な形状と湾曲したウェーハでの分布を保証します。スプレーコーターは、レジストパターンで示された場所のウェーハにフォトレジストをスプレーします。このスプレーコーターは、所望の場所にフォトレジストの精密な量を堆積することができる微細かつ液滴のスプレーパターンを生成することができる内蔵ノズルが装備されています。TEL ACT12ツールには、フォトリソグラフィープロセスをより迅速かつ効率的にするために設計されたさまざまな機能が装備されています。スピンコーターとスプレーコーターの機械的精度により、より多くのウェーハを1サイクルで処理することができます。1サイクルあたり最大15ウェーハ。さらに、アセットには、アプリケーション中のレジストの温度と湿度を制御するための高度なモデルも搭載されており、スマート化または照明不足のリスクを低減します。最後に、装置は、ユーザーが正確に各サイクルの結果を予測し、必要に応じて調整することができ、各サイクルの結果を常に監視することができるコンピュータ化された監視システムが含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON ACT12ユニットは、大量の半導体製造に最適な装置です。スピンコーターとスプレーコーターの精度、フォトリソグラフィープロセスを監視するために設計された革新的な機能は、ACT 12を強力で信頼性の高いフォトレジストマシンにします。