中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9239543 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、TEL Limited （TOKYO ELECTRON）が半導体産業で使用するフォトレジスト機器です。このシステムは、半導体ウェーハ上のフォトレジストコーティングの処理において、正確で均一で再現性のある結果を提供するように設計されています。TEL ACT 12ユニットは、フォトレジストコーティング前にウェーハから汚れを取り除く自動クリーニングアームで設計されています。その後、ウェーハを機械に配置し、厚さ12ミクロンまでの層に精密なフォトレジストを塗布します。フォトレジストの積層は、コーティングの正確な厚さ制御と均一性を保証するレーザーベースの干渉ステージを使用して行われます。自動化されたクリーニングアームは、ポストベーキングプロセスの前に余分なフォトレジストをウェーハから取り除くことも保証します。ポストベーキングは、フォトレジストコーティングが完全に硬化して処理可能であることを確認するために、高温（摂氏500度まで）で行われます。TOKYO ELECTRON ACT12ツールには高度な監視アセットが搭載されており、加工中のモデルの温度を正確に制御および監視することができます。これにより、フォトレジスト層が正確に硬化し、プロセス中の温度が推奨限度を超えないことが保証されます。ACT12のソフトウェアインターフェイスはユーザーフレンドリーで直感的です。これは、様々なプログラミングオプションだけでなく、機器の操作を制御するための直感的なユーザーインターフェイスを提供しています。これにより、必要に応じてフォトレジスト層を簡単に設定および調整できます。また、ウェーハの自動処理やキャリブレーションなど、高度な自動化機能も備えています。これにより、フォトレジストのレイヤーと厚さを素早く簡単に調整できます。TOKYO ELECTRON ACT 12フォトレジストユニットは、半導体ウェーハの加工やコーティングにおいて、パワフルで高精度で信頼性の高い装置です。高度な機能により、ユーザーはウェーハ上の均一で反復可能なコーティングをすばやく簡単に実現できますが、自動化されたクリーニングアームは、処理前にウェーハに汚染物質が残らないことを保証します。高度な監視ツールは、アセットの温度が制御された方法で維持され、ユーザーが処理中にフォトレジスト層を正確に制御できるようにします。また、ユーザーが簡単にレイヤーと厚さのレベルをプログラムすることができます直感的なユーザーインターフェイスを提供しています。