中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9235800 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、基板表面に高度なパターンや構造を作成するために設計されたフォトレジスト機器です。フォトレジスト（Photoresist）は、通常、光や紫外線に反応したり変化したりする材料で、表面にパターンや構造を作成するために使用することができます。TEL ACT 12は、基板表面に作成されたパターンや構造を正確に制御できるように設計されています。TOKYO ELECTRON ACT12は、露光システムとして設計され、フォトレジストで作成したパターンや構造を正確に制御できるスキャン露光方式を採用しています。これには2つの電子銃があり、1つはフォトレジスト用、もう1つは裏面用です。銃は、フォトレジストを暴露するために使用される放射線の線量を正確に調整するために使用することができます。フォトレジストの露光時間は、正しい用量が使用されるように調整することもできます。TEL ACT12は、放射線被ばくを制御する精度に加え、高いスループット能力を備えています。単位の電子銃は18秒未満の40mm （1。6in）まで基質のスキャンできます。これは、プロセスの精度を犠牲にすることなく、基板の広い領域を短時間でカバーできることを意味します。ACT 12には、いくつかの安全機能もあります。漏れた放射線を検出できる漏れモニターと、機械が故障した場合に基板を保護し、高レベルの放射を開始できる緊急シャッターがあります。このツールはまた、プロセスによって生成される廃棄物の量を最小限に抑えるように設計されています。TOKYO ELECTRON ACT 12は、基板表面への放射線被ばくを正確に制御するために設計されたフォトレジスト資産です。このモデルは、2つの電子銃、高スループット機能、および安全機能を備えており、さまざまな基板およびパターニング用途に最適です。これは、今日の市場で最も正確で信頼性の高いフォトレジストシステムの1つです。