中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9235799 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、フォトリソグラフィなどの微細加工プロセスで一般的に使用されるフォトレジスト機器です。基板に液体フォトレジストを塗布し、紫外線にさらされます。紫外線はフォトレジストを化学反応させ、光にさらされた領域で硬化させ、露出していない領域をより柔らかくします。フォトレジストを選択的に硬化させて柔らかくすることによってパターン化された表面を作成するこのプロセスは「、イメージフォーミング」として知られています。TEL ACT 12は、高度なスピンコート/スプレー方式を採用し、フォトレジストを均一に塗布する高度なシステムです。メインプロセッサ、ウェーハヒーター、スピンコート/スプレーヘッドを備えたマルチスピナー機を搭載しています。メインプロセッサは、スピンコート/スプレー工程中の工具の温度と湿度を制御します。TOKYO ELECTRON ACT12の露出ボックスを使用して画像成形を完了します。このボックスには、窒素パージ光学を使用してランプからの熱によって引き起こされる蒸気圧力を低減する発射可能な露出アセットとマスクレス露出アセットの両方が含まれています。ACT12の反射板モデルは、露出ボックスと基板の間の光を反射して、露出した基板の均一な露出を確保するため、画像形成プロセスをさらに支援します。画像成形完了後、クリーンルーム環境で基板を開発する能力を有しています。これは、開発者を効率的に適用し、露出していないフォトレジストを除去する専門のスプレーヤーを使用して行われます。TEL ACT12の開発機器は、ウェハ上に存在する欠陥を迅速かつ正確に検出する機能も備えています。TEL/TOKYO ELECTRON ACT12システムは、フォトリソグラフィープロセスのための効率的で信頼性の高いユニットです。その高度なスピンコートとスプレー技術は、フォトレジストが基板上に均等に適用されることを保証し、その投射およびマスクレス露出機は、基板の均一な露出を保証します。さらに、その開発者ツールは、基板上に存在する欠陥を迅速かつ正確に検出することができます。