中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9224985 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、半導体産業に特化したフォトレジスト機器です。半導体回路を作成するために使用される高度に専門化されたツールです。このシステムは「、ポジティブ」フォトレジストと呼ばれる、紫外線や可視光のパターンに反応する分子構造を変化させるフォトレジストを具体的に利用しています。変化した分子は、パターン化された表面上に非常に薄い保護膜を形成します。TEL ACT 12ユニットは3つの主要コンポーネントで構成されています。まず、フォトレジストを公開するために専用のマスクアライナーを使用します。フォトマスクと基板の正確なアライメントを可能にする高精度オプティクスを搭載しています。2つ目のコンポーネントは、キセノンまたはクリプトンランプで構成され、紫外線または可視光のビームを生成するマスク照明機です。用途に応じて、照明ツールを構成して、広範囲または狭いスペクトルの放射を提供することができます。最後に、このアセットには開発チャンバーが含まれており、露出した回路パターンを基板にエッチングするために使用されるプロセス化学物質が収容されています。TOKYO ELECTRON ACT12モデルは、幅広い用途において極めて精密なパターンを作り出すことに優れています。この精度を実現するために、プログラム可能なズームとフォーカス、メカニカルバックサイドのアライメント、組み込みのプロセス監視と制御機能などの高度な機能を備えています。さらにTELでは、マスクアライナー、照明ユニット、開発チャンバー設定などのパラメータをパターンや基板に基づいて素早くチューニングできるACT12システム「Auto-Tune」をリリースしました。結論として、東京エレクトロンアクト12は、半導体デバイスや回路の微細パターンを製造するための先進的で信頼性の高い機械です。フォトレジストの正確なアライメントと露出を可能にする高度な機能を備えており、非常に正確なパターンを生成することができます。さらに、TOKYO ELECTRON Auto-Tune機能により、このツールは非常に汎用性が高く、ユーザーはさまざまなアプリケーションに素早く簡単にアセットを設定できます。