中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9195881 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、先進的なフォトマスク製造と薄膜デバイス製造プロセスに対応するフォトレジスト装置です。高精度で自動化されたシステムで、薄膜感光材料を製造し、さまざまな産業用途に使用できます。このユニットは、プロセス制御および加工される材料に対する正確な制御という点で、費用対効果の高い製造オプションを提供するように設計されています。フォトマスクの露出方法を自動化することで、感光フィルムや様々な抵抗性を持つ材料を正確にパターン化し、管理することができます。抵抗のバリエーション、材料の感度を変更する機能は、自動化されたツールを介して一貫して正確に処理することができます。TEL ACT 12 Assetは、ユーザーのニーズに応じて構成できる3段階の開発サイクルも備えています。このサイクルには、開発前プロセス、露出プロセス、および開発後プロセスが含まれます。事前開発中に、ユーザーは露出のためのフォトマスクとプロセスパラメータを定義します。露出の間に、フォトマスクはそれから材料のコンフォーマーフォトレジストにさらされます；そして最後に、開発後のプロセスには、フォトレジストの露出と開発が含まれます。このモデルは、高精度の検査とインラインプロセス制御ツールを統合するように設計されており、サンプル生産における詳細を可能にしています。これにより、シャープで高解像度のパターニングが可能となり、薄膜や感光材料において洗練された複雑なパターンを実現できます。また、高度な解析機能を備えており、材料パラメータを正確に測定し、パターン化されたフィルムの誤差や変化を検出することができます。TOKYO ELECTRON ACT12は全体的に、薄膜感光材料の製造に使用できる高度に自動化された費用対効果の高いシステムです。正確なパターニングが可能で、高い信頼性を持つ精密で洗練されたフィルムを製造するために使用できます。