中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9187393 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、半導体製造プロセス向けに設計された高性能フォトレジスト装置です。電子半導体デバイスの製造に使用されるウェーハ基板上のエッチングパターンへのレーザー誘導露光を使用しています。高精度なパターンを作成できる高度なイメージングユニットを搭載し、露光能力は0。1 μ m以上です。このマシンは、特許取得済みのレーザーソース、10W光学レーザーヘッドに基づいており、露光を迅速かつ正確に行うことができます。レーザー光源は、非常に短時間で高精度で完璧な解像度の文字、線、形状を生成する高エネルギー、波長安定化レーザーツールです。TEL ACT 12には12インチのフォトマスクも搭載されており、フォトレジストオプションと露光の範囲を広げることができます。ウェーハに回路を書くために使用される7インチ正方形のマスクパターンが装備されています。イメージング資産は、人間の介入なしで非常に複雑な形状やパターンを迅速に作成することを可能にするユニークな「テンプレート駆動」技術を使用しています。このモデルは調整可能なマスク強度を備えているため、余分な光源を必要とせずにエッチングを正確かつ正確に制御できます。高度なイメージング装置とレーザー源に加えて、プロセスコントロールを自動化し、高い歩留まりの信頼性の高い回路を生成することができます。ウェーハアライメントは正確で、解像度の精度は一貫して維持されます。また、ウェハクリーニングステーションとフラットパネルディスプレイで構成され、イメージングプロセスを制御および監視します。TOKYO ELECTRON ACT12は、高精度で信頼性の高い回路を短時間で製造できるように設計された先進的な半導体製造機です。その高性能で高精度なイメージングツールは、ウェーハ基板上のパターンの一貫した信頼性の高いエッチングを可能にし、洗練された高性能な電子半導体デバイスを製造するための優れた選択肢を提供します。