中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9187391 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、TELが半導体産業におけるリソグラフィとエッチングのために開発したフォトレジスト機器です。高度なイオン支援電子ビーム（IAEB）リソグラフィーシステムで、10ナノメートル以下の超小型回路構造の高精度パターニング性能とエッチングを実現します。このユニットは、高感度の第7世代ファラデーディフレクター、微細なフォーカス調整のための改良されたビームマッピングと制御、堅牢な高解像度イメージング、およびリソグラフィとエッチングのプロセスをシームレスに切り替えるための高度なデュアルビーム光学要素など、多くの分野で画期的な革新を特色にしています。この組み合わせにより、3次元回路構造にも対応できる高品質なパターニングが可能になります。TEL ACT 12はまた、ウェーハ全体にわたってプロセスの均一性を確保するための高度な計測システムを備えています。これには、ウェーハ上のレジストプロファイルを決定する高解像度マッピングと、プロセス効果の高精度評価が含まれます。さらに、機械は、プロセスの異なる段階でレジスト特性の自動物理欠陥検査とリアルタイム検査を提供します。高解像度イメージングと高度な計測システムにより、東京エレクトロンACT12は高い欠陥管理精度とユーザビリティを提供します。これには、プロセスのフロントエンドおよびバックエンド段階の欠陥低減、およびウェーハ全体の層厚と線幅の一貫性が含まれます。さらに、このツールには、露出と線量、ビーム電流、たわみ、軌道を最適化および制御するためのさまざまなツールが装備されています。また、ダウンタイムを短縮して信頼性を向上させ、最先端の並列処理機能によりスループットを高速化します。TEL ACT12は、フォトレジストの資産開発における画期的なイノベーションであり、半導体産業における最高性能のリソグラフィーおよびエッチングプロセスに理想的なプラットフォームを提供します。その最先端の特徴、操作の容易さ、および高精度は、それを強力なモデル選択にします。