中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9164111 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、集積回路(IC)、液晶ディスプレイ(LCD)、発光ダイオード(LED)などの薄膜電子機器をエッチング・開発するフォトレジスト機器です。高速で高精度な光学イメージングプロセスを利用して、動的なパターンや構造を作成します。このシステムは、最も複雑な設計であっても、正確で反復可能な結果を生成する強力なリトグラファーを備えています。フォトレジストユニットは、専用カメラ、2層開発チャンバー、2つのプレベークチャンバー、スピンコーターマシン、回転露出チャンバーで構成されています。カメラツールは、特殊なレンズを使用して、基板上の感光材料を捕捉し、デジタルで強化します。これらの画像は、希望するデザインをエッチングするための光パターンを生成するために使用されます。フォトレジスト材料を適用するために、2層の開発チャンバーが使用されます。ここでは、レジストは、コーティングの厚さと均等性を正確に制御するのに役立ちますスピンコーティング、エレクトロスプレー、またはスクリーン塗装方法で適用することができます。フォトレジストは2つのプレベークチャンバーで乾燥され、温度と時間を調整して最適なフィルム接着を実現します。次に、回転露出チャンバーは、基板をカメラによって生成された正確な光学パターンにさらします。これが完了すると、基板は処理のための開発チャンバーに移されます。フォトレジストは液体またはガスバスを使用して取り外され、望ましいデザインだけが基板にエッチングされます。最後に、残留物を除去するクリーニングプロセスが続き、基板が使用可能です。TEL ACT 12フォトレジストアセットは、エッチングされた電子製品に精密かつ再現性のある製造プロセスを提供します。このモデルは、手動の方法に関連するコストのかかるエラーを低減し、プロセスの一貫性とスループットを劇的に向上させるのに役立ちます。さらに、複雑で複雑な設計でも信頼性の高い結果を得ることができます。
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