中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9142703 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12
ID: 9142703
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 1999
(4) Coaters system, 12" 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、希望する形状の基板や基板にパターンを印刷するフォトレジスト装置です。それは1つの2つの技術を結合する。フォトリソグラフィー(Photolithography)とは、光に敏感な化学物質を用いて基板にパターンを印刷する技術です。この技術により、メーカーは製品に複雑なパターンを生成することができます。TEL ACT 12は、このフォトリソグラフィープロセスを真空蒸着システムに統合します。このユニットは、光強度、波長、露光時間などの露光パラメータを制御します。調節可能な真空機械は正確な露出のための正確に制御された真空環境を作り出します。また、フォトレジスト材料の制御フローも備えており、常に正確な物理パターンを提供します。ツールの設計には、4つの統合されたステージが含まれています。最初の段階は基質が荷を積まれるところである。ユーザーは、所定のマグニチュード形状の所定のパラメータを入力できます。次の段階は堆積段階です。ここでは、フォトレジスト材を基板上に広げます。第3段階は露出段階です。この段階は、基板が所定の光波長と強度にさらされる場所です。第4段階は開発段階です。ここで、基板は、特定の領域にフォトレジスト材料を除去するために開発液体に服従します。また、TOKYO ELECTRON ACT12は非常にユーザーフレンドリーです。このアセットは直感的なグラフィックユーザーインターフェイスを備えています。このデバイスは、プロセス全体をモデルにパッケージ化し、個々のパラメータを簡単に制御し、結果として生じる差異をすばやく観察することができます。結果は非常に効率的で信頼性の高いプロセスです。全体的ACT12、正確な露光パラメータのパワーとコンフォーマルコーティングを組み合わせて、最も複雑で繊細なパターンを生成できるフォトリソグラフィ用の信頼性の高い機器です。また、ユーザーがそれぞれの実行と一貫したパターンを生成することも保証します。この信頼性の高いプロセスにより、TEL/TOKYO ELECTRON ACT12、信頼性の高い正確なフォトリソグラフィを必要とするメーカーにとって理想的な選択肢となります。
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