中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9114986 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、TEL （TOKYO ELECTRON LTD）が製造するフォトレジスト機器です。マイクロ電子デバイス（MEM）製造プロセス向けに設計されており、デバイス製造に必要な高解像度パターニングの製造が可能です。このシステムはACTプラットフォームをベースにしており、フォトレジスト材料の幅広いパターンにおいて前例のない性能を発揮し、迅速なターンアラウンドタイムで優れたリソグラフィ結果を生み出します。このユニットには、デバイス製造を合理化するために設計されたさまざまな機能が付属しています。その2段階のリソグラフィープロセスは、露出前のベーキングと露出後のベーキングで構成され、高いスループットを可能にします。また、従来のドライエッチングシステムの最大2倍のイメージング速度を持ち、多様なフォトレジスト化学やマスク材料をサポートしています。TEL ACT 12は、最も詳細なパターンの露出を可能にするために、サブミクロン精度と高精度です。また、双方向イメージング機能と、正と負の両方のフォトレジスト層を1つのプロセスで転送できるタンデム機能が組み合わされています。この機械は、マイクロチップ製造およびMEMデバイス製造からバイオテクノロジーおよび医療機器製造まで、さまざまな業界に対応するのに十分な柔軟性があります。このツールは、シリコン、ヒ素ガリウム、多結晶、有機、金属酸化物などのさまざまな基板で最高の性能を発揮し、複数の産業に適用するための汎用性の高いソリューションです。アセットには直感的なユーザーインターフェイスが付属しているため、ナビゲートと操作が簡単です。強力なレシピデータベースがあり、ユーザーはさまざまなフォトレジスト材料や基板のさまざまなプロセスやパラメータにアクセスできます。このモデルは、信頼性の高い発煙回収装置と、システムの安全で正確な動作を保証するためのいくつかの安全機能を備えた、高度な安全性を念頭に置いて設計されています。メンテナンスも簡単で、サービスやメンテナンスによるダウンタイムを最小限に抑えます。TOKYO ELECTRON ACT12は、これまでにない性能と精度を提供するマイクロエレクトロデバイス製造用に設計されたフォトレジストユニットです。直感的なユーザーインターフェイス、調整可能な処理速度、安全性を確保するためのさまざまな安全機能を備えた、高精度で柔軟性があります。さらに、機械はメンテナンスが容易で、サービスやメンテナンスによるダウンタイムが最小限に抑えられます。