中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9112903 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、半導体製造に使用されるフォトレジスト機器です。フォトレジストシステムは、半導体ウェーハに感光コーティングを施すために使用されます。このようなシステムを使用する目的は、ウェーハ上にパターンを作成し、その電気的およびその他の特性を制御することです。TEL ACT 12は、高度な半導体製造に特化した最適化されたフォトレジストシステムです。プロジェクター内蔵、デュアルフォーカスポット、バスケット式アンロード/ロードステーションを備えた高度なツールです。顧客の要求に応じて、ユニットは0。35 µmまでのサブリゾリューション機能を備えたパターン化されたレイヤーを提供するようにプログラムすることができます。TOKYO ELECTRON ACT12にはダブルレベルの12インチアウターカセットが装備されており、処理中にウェーハをしっかりと固定することができます。投影露光装置は、広い露光領域にわたって高精度な画像を提供します。プロジェクターには、レーザー干渉計と、正確な投影を保証する自動アライメントツールが装備されています。数学的アルゴリズムに基づいて最適化されたデュアルフォーカススポットは、投影された画像の精度を高めるのにも役立ちます。さらに、アセットには統合された冗長性モデルも備えています。これにより、機器に障害が発生した場合でも安全に故障し、ウェーハに損傷を与えないことが保証されます。また、低振動の最先端コンベアユニットを搭載し、加工時の振動を最小限に抑え、ウェーハの損傷を軽減します。最後に、ACT 12はユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスで設計されています。これは、機械のセットアップとパターン作成をより簡単かつ迅速にすることを目的としています。このツールには、資産のパフォーマンスを継続的に監視し、異常の詳細なフィードバックを提供する組み込みモニターモジュールも装備されています。TOKYO ELECTRON ACT 12は、先進的な半導体製造に特化した強力なフォトレジストモデルです。オートアライメント、デュアルフォーカスポット、機器冗長システムなどの機能を搭載し、半導体ウェーハ上に複雑なパターンを作成するための高精度と信頼性を提供します。