中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9112795 を販売中

ID: 9112795
ウェーハサイズ: 8"
CRA Cassette Block Robotics Arms, 8" Main Component Part Numbers: CRA X Assembly Part No: CT2987-455715-W1 CRA 8" Fork Conversion Assembly Part No: CT2985-444227-W2 CRA Mapping LED Sensor Part No: CT2985-443032-W1 CRA Y Assembly Part No: CT2987-455713-W1 CRA Z Assembly Part No: CT2987-455716-W1 CRA Theta Assembly Part No: CT2987-455756-W1 CRA Electric Assembly Part No: CT2987-456574-W1 2987-455715-W1 ARM (ACT12 CRA-X-IPL) CT2980-193234-11 BLOCK,SLIDE NP8099D005-2 CT2980-193235-11 BASE,FORK NP8099D002-2 CT2980-193236-11 HOLDER NP8099D006-1 CT2980-193237-11 STAND (1) NP8099D003-1 CT2980-193238-11 STAND (2) NP8099D004-1 CT2980-193239-11 COLLER,PULLEY NP8099D009-0 CT2980-193240-11 NUT NP8099D010-0 CT2980-193241-11 BLOCK,TENSION NP8099D012-1 CT2980-193242-11 BRACKET NP8099D013-1 CT2980-193243-11 COLLER,IDLER NP8099D015-0 CT2980-193244-11 BLOCK,MAPPING NP8099D016-1 CT2980-193245-11 STOPPER,END NP8099D017-0 CT2980-193246-11 STOPPER NP8099D018-0 CT2980-193247-11 BLOCK,IDLER NP8099D019-1 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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、半導体業界の様々なプロセスに適したフォトレジスト機器です。このシステムは信頼性が高く、既存のシステムを改善する多くの革新的な機能が組み込まれています。フォトレジストシステムは、リソグラフィやエッチングなどのフォトレジストアプリケーションに最適です。このユニットは、レンズ選択、ビームブランキング、a-Si/Gasプラズマ、および光学クロススキャンを選択できる最先端のイメージングマシンを使用しており、自動プロセス制御用に最適化されたツールを備えています。アセットには統合ビームブランキングオプションがあり、フォトレジストを一度にウェーハ上の単一のオブジェクトに適用できます。これにより、異なるマスクアライナーの潜在的なクロスコンタミネーションが防止されます。また、a-Si/Gasプラズマプロセスを採用しており、リソグラフィーシステムにおいてより高い性能を発揮します。この機能により、レーザービーム直径、露光時間、レチクルサイズをより正確に制御でき、安定性と正確なパターニングが可能になります。また、高密度定義測定技術を搭載し、計測の精度と再現性に優れています。この技術は、深度制御やフォーカスモニタリングなど、プロセス全体で高い精度に貢献します。最後に、このシステムには光学クロススキャン技術もあり、ステップやリピートリソグラフィなどのさまざまなこぎりで使用するように設計されています。このユニットは、リアルタイムの画像転送と高速な制御により、スループットが向上し、生産歩留まりが向上します。TEL ACT 12フォトレジストマシンは、信頼性を考慮した市場ニーズに対応した高品質な製品を製造するために、半導体メーカーがプロセスを最適化することを可能にします。高性能イメージングツール、ビームブランキング、a-Si/ガスプラズマ、光学クロススキャン、高密度定義測定技術により、プロセスの柔軟性と精度が向上します。
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