中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9112122 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、高度な半導体デバイス製造プロセスに使用されるフォトレジスト機器です。高速で高解像度のマスクレスアライナーを採用し、フォトレジストや反射防止層など半導体デバイスの製造に使用される材料を正確にパターニングします。TEL ACT 12の中心には、高速で高解像度のマスクレスアライナーがあります。このアライナーは、対物レンズと組み合わされた統合空間光変調器（SLM）を備えており、0。8 μ m以上の露光分解能を持つフォトレジスト材料を正確にパターン化しています。SLMには、レーザービームを変調して画像を素早く正確に取得できる数千の個別にアドレス可能な反射要素が含まれています。フォトレジストの正確なパターニングにより、複雑な多層構造のサブミクロンフィーチャー定義が可能になります。また、フォトレジスト層の均一な露出を確保するために、ウエハローダーと温度制御機能を備えたACT12ユニットです。ウェーハローダーは、電動コンベアベルト上にウェーハを保持し、正確にアライナマシンに配置します。温度制御は、フォトレジストが露出のために正しい温度で維持されることを保証するために、統合冷却ユニットを使用しています。ACT12には、ピンホール、傷、ボイドなどのフォトレジスト層の欠陥を検出できる自動欠陥検査ツールもあります。このツールの高度な処理アルゴリズムは、フォトレジスト層を分析して欠陥を特定し、エンジニアがデバイス製造プロセスを継続する前に迅速かつ簡単に識別して対処できるようにします。最後に、東京エレクトロンアクト12アセットは、半導体デバイス製造に使用されるさまざまなフォトレジスト材料を取り扱うことができます。ダイレクトライト、ステップ&リピート、ステップ&スキャンなど、さまざまな露出プロセスとも互換性があります。このモデルは、MEMSデバイスなどの幅広いデバイスアプリケーションに使用でき、電子ビームリソグラフィなどの他のシステムと統合してデバイスの複雑性を高めることができます。