中古 TEL / TOKYO ELECTRON ACT 12 #9112100 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 12は、汎用性と信頼性の高いリソグラフィに使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、ナノメートル範囲内で優れた解像度と安定性をユーザーに提供します。TEL ACT 12は、調整可能なスキャン速度とショット・ツー・ショットの再現性の精度により、ウェーハなどの基板上で最高品質の表面エッチングとパターンを生成することができます。このユニットは、高品質の光学系、シャッターロックシステム、およびフレアと歪みを低減し、焦点分解能を向上させるレンズ要素で構成されています。この光学系は基板の安定した均一な照明を提供し、精密なリソグラフィをもたらします。さらに、このマシンは、ユーザーが基板上の露出パターンと線量を正確に制御できるように設計されています。TOKYO ELECTRON ACT12は、ウェーハの積み降ろし機構を一体化し、高速かつ信頼性の高い機能を備えています。これにより、マルチショットリソグラフィと高いスループットが可能になります。高度なイメージングツールはまた、より高いパターン忠実性を達成するために異なる露出マスクの選択を可能にします。これにより、歪みのない高精度・高機能サイズを実現できます。さらに、このアセットには、正確なステージとドライブシステムだけでなく、ナビゲートしやすいグラフィカルユーザーインターフェイスも含まれています。ステージはX、 Y、 Z軸に沿って一貫した正確な動きを保証し、ドライブは露出時間と出力電力を正確に制御できます。グラフィカルユーザーインターフェイスにより、ユーザーは簡単に目的の設定を選択し、各プロセスをカスタマイズできます。TEL ACT12は、表面エッチングやパターンを適切に生成するために必要な時間と労力を削減するように設計されています。その優れた光学系、シャッターロックモデル、レンズ要素は、より高い収率で洗練されたパターンを達成する能力をユーザーに提供します。さらに、統合されたウェーハローディングおよびアンロード機構により、より高速で信頼性の高いマルチショット・リソグラフィが可能になります。ACT 12は、高度なイメージング装置とステージおよびドライブシステムを備えており、効率的で信頼性の高い正確なフォトレジストシステムをユーザーに提供します。